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半導(dǎo)體廢氣處理裝置有哪些

發(fā)布時(shí)間:2023-03-20 16:24:04瀏覽次數(shù):

  半導(dǎo)體廢氣處理裝置有哪些?探討有效的廢氣處理方案

  1、半導(dǎo)體廢氣處理裝置是一種用來(lái)處理半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣的裝置,它的作用是凈化空氣,防止環(huán)境污染。

  2、半導(dǎo)體廢氣處理裝置的類(lèi)型主要有常壓式、真空式、低壓式等。

半導(dǎo)體廢氣處理裝置有哪些(圖1)

  3、常壓式半導(dǎo)體廢氣處理裝置的結(jié)構(gòu)主要由煙囪、筒狀外殼、濾芯、活性炭吸附器、活性炭過(guò)濾器等組成。常壓式半導(dǎo)體廢氣處理裝置的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維護(hù)和管理成本較低,安裝和調(diào)試容易,但是它的處理效率較低,只能處理小濃度的廢氣。

  4、真空式半導(dǎo)體廢氣處理裝置的結(jié)構(gòu)由真空系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)、煙氣回收系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)等組成,它的優(yōu)點(diǎn)是處理效率高,可以處理大濃度的廢氣,但是它的維護(hù)和管理成本較高,安裝和調(diào)試較為復(fù)雜。

  5、低壓式半導(dǎo)體廢氣處理裝置的結(jié)構(gòu)基本相同,它們的差別主要是處理的壓力梯度不同,可以根據(jù)廢氣的濃度和類(lèi)型選擇不同的壓力梯度。

  總之,半導(dǎo)體廢氣處理裝置有常壓式、真空式、低壓式等多種類(lèi)型,它們的結(jié)構(gòu)不同,可以根據(jù)廢氣的濃度和類(lèi)型選擇合適的半導(dǎo)體廢氣處理裝置。它們都可以很好地處理廢氣,防止環(huán)境污染,確??諝馇鍧崱?/span>

半導(dǎo)體廢氣處理裝置有哪些(圖2)


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半導(dǎo)體廢氣處理裝置有哪些(圖3)

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